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Atelier MEMS-NEMS

Objectifs

Cet atelier a pour objectif de simuler, fabriquer et caractériser de nouveaux capteurs de type micro-nanosystème grâce à l'exploitation des micro et nano technologies.
Le fil directeur de la formation est de privilégier d'une part le travail expérimental par groupe autour de thèmes très applicatifs et d'autre part de renforcer le lien entre les cours théoriques de leur cursus et les notions dont ils auront besoin au cours de leur future vie professionnelle. Dans ce cadre, la conduite d'un projet, se voulant structurant, permettra alors à l'étudiant d'effectuer une synthèse bibliographique et de développer un sujet d'étude sur ces nouveaux capteurs dont les applications portent dans de nombreux secteurs e.g. micro-nanoélectronique, aéronautique, médecine
Les thèmes suivants seront abordés :
- Cours de modélisation MEMS/NEMS
- TP de simulations multi-physiques (e.g. COMSOL)
- Réalisation de MEMS en salle Blanche AIME (1/2 process)
- TP de caractérisation de MEMS par tests sous pointes
- Soutenance projet MEMS/NEMS

Pré-requis

Physique des semiconducteurs et des microsystèmes.
Connaissances de base en Physique du solide (niveau Master 1).

Evaluation

L'évaluation des acquis d'apprentissage est réalisée en continue tout le long du semestre. En fonction des enseignements, elle peut prendre différentes formes : examen écrit, oral, compte-rendu, rapport écrit, évaluation par les pairs...