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Atelier Systèmes micro-nano-électro-mécanique

Objectifs

Cet atelier a pour objectif de simuler, fabriquer et caractériser de nouveaux capteurs de type micro-nanosystème grâce à l'exploitation des micro et nano technologies.
A la fin de ce module, l'étudiant devra maitriser les bases théoriques, les techniques de conceptions, de réalisation et de caractérisations de nouveaux capteurs Micro et Nanosystèmes et être capable de caractériser et expertiser des dispositifs ces échelles micrométriques et nanométriques.

Le fil directeur de la formation est de privilégier d¿une part le travail expérimental par groupe autour de thèmes très applicatifs et d'autre part de renforcer le lien entre les cours théoriques de leur cursus et les notions dont ils auront besoin au cours de leur future vie professionnelle. Dans ce cadre, la conduite d'un projet, se voulant structurant, permettra alors à l'étudiant d'effectuer une synthèse bibliographique et de développer un sujet d'étude sur ces nouveaux capteurs dont les applications portent dans de nombreux secteurs e.g. micro-nanoélectronique, aéronautique, médecine.

Les thèmes suivants seront abordés :
- Cours de modélisation MEMS/NEMS
- TP de simulations multi-physiques (e.g. COMSOL)
- Réalisation de MEMS en salle Blanche AIME (1/2 process)
- TP de caractérisation de MEMS par tests sous pointes
- Soutenance projet MEMS/NEMS

Pré-requis

Physique des semiconducteurs et des microsystèmes
Connaissances de base en Physique du solide (niveau Master 1)

Evaluation

L'évaluation des acquis d'apprentissage est réalisée en continu tout le long du semestre. En fonction des enseignements, elle peut prendre différentes formes : examen écrit, oral, compte-rendu, rapport écrit, évaluation par les pairs...

Bourse

Un exposé oral évalue la qualité de la recherche bibliographique et la qualité du projet effectué par les étudiants. Une note de TP permet de compléter et d'évaluer la qualité du travail expérimental.

1- Fascicules entièrement polycopiés
2- M. Lahmani, C. Dupas et P. Houdy Les Nanosciences - Nanotechnologies et nanophysique (vol.1) Editions Belin (2006)ISBN : 2-7011-4386-1
3- L. Aigouy, Y. De Wilde et C. Frétigny Les nouvelles microscopies - A la découverte du nanomonde Editions Belin (2006)ISBN : 2-7011-3648-2R.
4 - WiesendangerScanning probe microscopy and spectroscopy - Methods and applications Cambridge University Press (1998)ISBN : 0-521-42847-5
5 - E. Meyer, H. J. Hug et R. Bennewitz Scanning probe microscopy and spectroscopy - The lab on a tip Springer (2004)ISBN : 3-540-43180-2