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Micro-nano technologies

Objectifs

- maîtriser la conception et la simulation de dispositifs micro-nanoélectronique par conception assistée par ordinateur (C.A.O.)
- connaître les procédés de la micro et nanoélectronique (principe physico-chimique, règles de dessin associées)
- les mettre en œuvre en salle blanche pour la réalisation de composants et circuits intégrés CMOS
- réaliser des tests physiques et électriques de ces circuits et composants.

Evaluation

L'évaluation des acquis d'apprentissage est réalisée en continu tout le long du semestre. En fonction des enseignements, elle peut prendre différentes formes : examen écrit, oral, compte-rendu, rapport écrit, évaluation par les pairs...

Bourse

VLSI Technology, 2nd edition, S. M. Sze, McGraww-Hill Internation Editions, 1988m
« Physique et technologie des dispositifs à semiconducteurs », A. S. Grove, Dunod , Paris, 1971.