Sécurité, Qualité, Application à la Mesure et à la Micro-technologies (SQAMM)

Objectifs

Ce module constitue une approche théorique et expérimentale des principaux concepts mis en jeu dans le domaine de la qualité, de la sécurité, de l'environnement et de la mesure et des micro technologies. 
Les thèmes suivant sont abordés : 
- plans d'expériences, 
- métrologie et expérimentation
- prise de décision et analyse de risque
- Physique des dispositifs avancés
- Micro-nanotechnologies
Cet ensemble de cours se veut motivant pour l¿étudiant en le mettant en situation concrète vis-à-vis des problèmes auxquels il pourrait être confronté dans sa vie de futur ingénieur. 

Dans ce cadre, le fil directeur de la formation est de privilégier d¿une part le travail par groupe autour de thèmes fédérateurs et très applicatifs et d¿autre part en renforçant le lien entre les cours théoriques de leur cursus et les notions dont ils auront besoin au cours de stages pratiques en laboratoire et/ou en entreprise.
Notamment, de présenter les techniques utilisées dans l'industrie de la micro-électronique pour la fabrication des circuits intégrés (photolithographie, croissance et dépôt de couches minces, dopage, gravures), ainsi que différentes techniques de caractérisation optique et électrique. Les étudiants étudient les processus physico-chimiques mis en œuvre dans ces techniques.
Cette présentation s'appuie sur l'exemple des procédés complets de fabrication de circuits NMOS et CMOS.
Les étudiants sont également initiés à la conception et à la simulation des circuits intégrés.
La physique des dispositifs à semiconducteurs avancés se focaliser sur les dispositifs à hétérojonction. 

A la fin de cette UF, l'étudiant devra :
1 - Être capable de définir, construire et analyser un plan d'expérience d'un problème complexe de physique et d'avoir un regard critique sur les résultats obtenus. 
2 - Maîtriser les concepts avancés de la physique des dispositifs 
3 - Maîtriser les procédés de réalisation de dispositifs à semiconducteurs en salle blanche. 
4 - Être sensibilisé à la sécurité, la qualité, la décision, les risques environnementaux et l¿analyse de risque.

Pré-requis

Physique des semiconducteurs (électrons, trous, dopage, structure de bande).
Constitution et principe de fonctionnement des composants électroniques de base (jonction PN, transistor MOS).
Modélisation statistique

Évaluation

L’évaluation des acquis d’apprentissage est réalisée en continu tout le long du semestre. En fonction des enseignements, elle peut prendre différentes formes : examen écrit, oral, compte-rendu, rapport écrit, évaluation par les pairs…